滚珠丝杠副
特点是刚度大，可实现的增量位移为100nm（即0.1μm）。

摩擦传动
传动刚度为50N~100N/μm，拉力达100N，可实现的移动增量为5nm。缺点是寿命低，不够灵敏。

条（带）传动
仅适合在小型机床上用。

压电和磁致伸缩传动
移动量可小于5nm，但总的行程量很小，只有100~200μm，故多数情况下它是与其它传动方式（如滚珠丝杠副）组合使用。

自定位静压丝杠副
特点是由于齿形角小（只有10°），故刚度大（达100N~1000N/μm）和可实现微小的增量位移。缺点是保证油温和油压稳定的系统较复杂。

增量式液压传动
刚度可达600N/μm，位移增量80nm，但供油系统复杂。

电磁丝杠副传动
它是由涂有稀有材料的磁性混合物的丝杠与带有线圈的螺母相互作用来实现传动。可实现微小的增量位移，但刚度过低，只有10N/μm。

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