减少工艺系统热变形造成的误差的措施为：充分冷却，减少温升；机床在热平衡状态下进行加工；在恒温条件下进行精密加工。精密机床(如珩磨机)的热变形对加工精度的影响较为明显。

由于机床的体积及质量较大，因此从开始升温到其温度基本不变，即达到热平衡状态，需要较长时间。在升温过程中机床持续发生变形，较难控制工件的加工尺寸。所以精密机床在加工前，应空运转一段时间进行预热，待达到热平衡状态后，再进行加工。